案例研究：SiMPore 公司

“Filmetrics 公司的报告不仅给了我们需要的信息，还提高了我们对测量精确度的信心。”

- Christopher Striemer 博士, 薄膜发展副总裁, SiMPore 公司

初创公司面对薄膜测量的挑战

SiMPore 是一个纳米技术公司，公司开发生物和半导体应用特殊超薄膜（图 1）。 然而，SiMPore独特的技术给薄膜测量带来挑战。“薄膜厚度非常关键，因为它决定着性能和获利。” Christopher Striemer 博士解释说，他是 SiMPore 公司薄膜发展副总裁。

作为一个资本主要用于产品开发的初创公司，SiMPore 需要在有资金买测量仪器之前找到一个经济有效的厚度测量方法。

达到椭偏仪的极限

尽管椭偏仪测量薄膜厚度已经是成熟的技术， Striemer 博士意识到它恐怕对SiMPore公司超小超薄的薄膜不合适。

椭偏仪不能满足SiMPore公司的测量需要：

• 椭偏仪用非-垂直光测量薄膜厚度，光线斜着照过样本，不能集中在一点。
• 椭偏仪不能直接测量薄膜，需要另外准备一个验证样本，这样可能导致测量不准。
• 许多椭偏仪不带显微镜，很难确定样本上的哪个区被测到。“你需要看到现场测量以确保薄膜上该测的点被测到，” Striemer 博士说。
• SiMPore 员工需要前往开放实验室使用椭偏仪。

另外，Striemer 博士希望找到一种测量仪器，一旦公司获得资金，无论是通过小企业基金、贷款，或其他资本投资， SiMPore可以自己购买。“椭偏仪非常贵，无论如何集资，我们私人小公司都买不起。 在学术界，这种仪器都是通过特殊仪器基金购买，并且放在开放实验室供大家使用，” Striemer 博士说。

测量领域的最经济的解决方案

Striemer 博士在 Filmetrics 专业薄膜测量服务和 F40-UV 系统中找到了答案。 “Filmetrics 的仪器用光直接照在薄膜样本上，” Striemer 说， “这意味着我们可以在微小范围内（33X33um)测量光谱反射，即使薄膜表面不平也没关系，而且清楚知道我们测的是什么。”

“对我们的测量来说，这是第一次直接确定单一独立薄膜厚度， 因为现有的椭偏仪测量要求较大的无图案区域，” Striemer 博士补充道。 这种精确测量使 SiMPore 能针对客户应用提供更准确的薄膜厚度性能信息。

和 SiMPore 工程师共同测量是 Filmetrics 专业服务的一部分。 这项服务提供公司和研究人员需要的薄膜厚测量，但不必购买或租用仪器。

每个服务项目都有包括测量结果的图像和数据报告。（图 2） “Filmetrics 公司的报告不仅给了我们需要的信息，还提高了我们对测量精确度的信心，” Striemer 博士说。

Striemer 博士还发现 Filmetrics F40-UV 是物美价廉的测量仪器。 SiMPore 在资金允许时会购买。 这个价位对小公司来说更为现实。

SiMPore 公司期望以后购买 Filmetrics 系统，以便不断进行产品开发和质量控制。“椭偏仪非常复杂，而且型号太多，很多人不喜欢用，” Striemer 博士说。“而Filmetrics的仪器，我所有的技术人员都喜欢用，因为它们容易使用。”