包含的内容：
- 集成光谱仪/光源装置
- 光斑尺寸10微米的单点测量平台
- FILMeasure 8反射率测量软件
- Si 参考材料
- FILMeasure 独立软件 (用于远程数据分析)
型号规格
| 型号 | 厚度范围* | 波长范围 |
|---|---|---|
| F32-s980 | 10µm - 1mm | 960-1000nm |
| F32-s1310 | 15µm - 2mm | 1280-1340nm |
| F32-s1550 | 25µm - 3mm | 1520-1580nm |
厚度范围 (n=1.5)*
额外的好处：
- 每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种
- 应用工程师可立刻提供帮助（周一 - 周五）
- 网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)
- 硬件升级计划
