F60-c 系列

适合生产环境的自动晶圆传输薄膜厚度测绘系统

Filmetrics® F60-c系列能够像我们的F50产品一样对薄膜厚度和折射率进行测绘，但它还包括许多专门用于生产环境的功能。这其中包括自动寻找v-槽、自动基准校正、运动联锁装置的封闭式测量台、已安装软件的工业计算机, 以及晶盒及机械手臂自动传输。新款F60-c融合了Filmetrics 多点膜厚测量技术与KLA Instruments™ 产线自动化传片模组。

不同的F60-c仪器主要通过测量厚度和波长范围来区分。通常测量较薄的薄膜需要较短的波长（例如F60-c-UV），而较长的波长则适于测量较厚、较粗糙和更不透明的薄膜。