R50 / R54 系列

方块电阻测试仪

Filmetrics R系列结合了KLA公司45年来在方块电阻测量领域以及Filmetrics团队20年来在桌面式仪器和用户界面方面的技术。

对于较薄的金属和离子注入层，建议采用接触式四探针(4PP)测量方法，对于较厚的金属层和柔性或软性的导电表面，建议采用非接触式涡流(EC)测量方法。我们的技术能够满足各种测量需求，包括但不限于以下:
  • 金属薄膜及背面工艺层厚度测量
  • 衬底电阻率
  • 方块电阻
  • 薄膜厚度或电阻率
  • 薄层和体材料的导电率
经过优化的Filmetrics R50能够支持各种样品的测量需求，可以使用矩形、线性、极坐标和自定义配置等采样点排列方式进行测绘。
KLA Instruments™ R54系列在安装不透光外壳的情况下，能够提供R50所具有的测量性能，并新增了X-Y-θ全自动载台，用于半导体和化合物半导体的200mm或300mm晶圆检测。了解更多信息→
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型号规格

型号 传感器类型 量测范围 最大测绘直径 XY载台运动范围 最大样品容许高度
R50-4PP 接触式四探针 1mΩ/sq - 200MΩ/sq 100mm 100mm x 100mm 100mm
R50-EC 非接触涡流 1mΩ/sq - 50Ω/sq 100mm 100mm x 100mm 100mm
R50-200-4PP 接触式四探针 1mΩ/sq - 200MΩ/sq 200mm 圆形 200mm x 200mm 100mm
R50-200-EC 非接触涡流 1mΩ/sq - 50Ω/sq 200mm 圆形 200mm x 200mm 100mm
R54-200-4PP 接触式四探针 1mΩ/sq - 200MΩ/sq 200mm x 200mm 100mm x 100mm 15mm
R54-200-EC 非接触涡流 1mΩ/sq - 50Ω/sq 200mm x 200mm 100mm x 100mm 15mm
R54-300-4PP 接触式四探针 1mΩ/sq - 200MΩ/sq 300mm 圆形* 200mm x 200mm 15mm
R54-300-EC 非接触涡流 1mΩ/sq - 50Ω/sq 300mm 圆形* 200mm x 200mm 15mm
*X-Y-θ全自动载台

方块电阻和其他测量应用:

  • 半导体晶圆衬底
  • 玻璃衬底
  • 塑料柔性衬底
  • PCB图案特征
  • 太阳能电池
  • 平板显示层和图案特征
  • 金属箔
  • 导电橡胶和弹性体