R50 系列

片电阻测量

Filmetrics R系列片电阻测绘设备完美地结合了KLA 45多年的技术开发与完善和Filmetrics团队过去20年开发的台式仪器技术。对于薄金属层和离子注入层推荐采用R50-4PP接触式四点探头,而R50-EC非接触式涡流探头则建议用于较厚的金属层和软性或柔性表面,其中包括:

  • • 半导体晶圆衬底
  • • 玻璃衬底
  • • 塑料(柔性)衬底
  • • PCB 图案特征
  • • 太阳能电池
  • • 平板显示层和图案特征
  • • 금金属箔

型号规格

型号 传感器类型 量测范围 最大测绘直径 XY载台运动范围 最大样品容许寛度 最大样品容许高度
R50-4PP 接触式四探头 1mΩ/sq - 200MΩ/sq 100mm 100mm x 100mm 265mm 100mm
R50-EC 非接触涡流 1mΩ/sq - 10Ω/sq 100mm 100mm x 100mm 265mm 100mm
R50-200-4PP 接触式四探头 1mΩ/sq - 200MΩ/sq 200mm 200mm x 200mm 365mm 100mm
R50-200-EC 非接触涡流 1mΩ/sq - 10Ω/sq 200mm 200mm x 200mm 365mm 100mm

片电阻和其他测量应用

R50 4探头(4PP或FPP)和涡流探头测量技术的测量应用十分广泛,其中包括但不限于以下的测量:

  • 金属膜和背面工艺层厚度测量
  • 衬底电阻率
  • 片电阻
  • 薄膜厚度或电阻率
  • 片电导率和体电导率
  • 堆叠薄膜