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我们的F80厚度成像产品可用于测量氧化物、STI 和金属化学机械研磨加工。 测量电介质去除率、剩余电介质厚度和均匀性、腐蚀和 STI 残余氧化物等都是常见的用途。 化学机械研磨易耗品供应商使用F80-t台式系统来快速确定化学机械研磨过程的特性,从而缩短研磨浆料和衬垫的开发周期。

我们的F40系统也可以用于化学机械研磨过程的开发,进行电介质薄膜厚度和腐蚀测量。

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